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气体分类
Gas
  • 标准漏孔 LS-25 型
    使用寿命: 约20 年; 内部气体罐容量可持续使用约5 年,压力过低时,可以反复充注,多次使用。
    使用寿命: 约20 年; 内部气体罐容量可持续使用约5 年,压力过低时,可以反复充注,...
    使用寿命: 约20 年; 内部气体罐容量可持续使用约5 年,压力过低时,可以反...
  • ei系列批量型高真空系统
    支持各种蒸发源(即EB,RH,EB + RH等); 基材托架与每个过程相一致的(即剥离,行星,卫星等); 支持各种基材...
    支持各种蒸发源(即EB,RH,EB + RH等); 基材托架与每个过程相一致的(即剥离...
    支持各种蒸发源(即EB,RH,EB + RH等); 基材托架与每个过程相一致的...
  • 用于研发的高密度等离子刻蚀系统NE-550EX
    配备低压、低电子温度和高密度等离子源; 支持从离子蚀刻到自由基蚀刻的各种过程控制; 等离子体的密度和均匀性可以通过优化...
    配备低压、低电子温度和高密度等离子源; 支持从离子蚀刻到自由基蚀刻的各种过程控制; ...
    配备低压、低电子温度和高密度等离子源; 支持从离子蚀刻到自由基蚀刻的各种过程控...
  • Si深刻蚀系统NLD-5700Si
    良好的重复性和稳定的过程; 对光阻的高选择性(200-500),对CD偏移的良好控制; 蚀刻后光滑的侧壁; 可以...
    良好的重复性和稳定的过程; 对光阻的高选择性(200-500),对CD偏移的良好控制;...
    良好的重复性和稳定的过程; 对光阻的高选择性(200-500),对CD偏移的良...
  • 负载锁定式等离子CVD系统CC-200/400
    27.12MHz的高密度等离子体工艺; 支持SiH4(SiO2,SiNx,SiON,a-Si)和TEOS(SiO2)的沉积;...
    27.12MHz的高密度等离子体工艺; 支持SiH4(SiO2,SiNx,SiON,a...
    27.12MHz的高密度等离子体工艺; 支持SiH4(SiO2,SiNx,Si...
  • 多腔室溅射系统ENTRONTM-EX2 W300
    各种应用(NVM,Al和铜布线,钛或氮化钛阻挡金属,厚铝和钴或镍自对准硅化物等); 不仅具备Si器件的处理能力,而且还具备化...
    各种应用(NVM,Al和铜布线,钛或氮化钛阻挡金属,厚铝和钴或镍自对准硅化物等); 不...
    各种应用(NVM,Al和铜布线,钛或氮化钛阻挡金属,厚铝和钴或镍自对准硅化物等); ...
  • 用于SiC 的高温离子注入机IH-860DSIC
    持续高温植入; 高达700keV; 通过软件链式植入; 占地面积小; 覆盖研发到批量生产各个领域。
    持续高温植入; 高达700keV; 通过软件链式植入; 占地面积小; ...
    持续高温植入; 高达700keV; 通过软件链式植入; 占地面积小...
  • 高压  LSI卡
    所谓非接触…; 没有金属终端连接器连接的干预, 在已连接到内部电路板的四个片线圈(电源,指令,读 - 写),根据读写装置和电...
    所谓非接触…; 没有金属终端连接器连接的干预, 在已连接到内部电路板的四个片线圈(电源...
    所谓非接触…; 没有金属终端连接器连接的干预, 在已连接到内部电路板的四个片线...
  • R-BLTMAXR  高压  用于LSI卡的读写器
    它是标准配备的RS-232C或RS-422接口的读取器/写入器; 您可以轻松的与现场端设备进行组装。 (R-BLTMAXR...
    它是标准配备的RS-232C或RS-422接口的读取器/写入器; 您可以轻松的与现场端...
    它是标准配备的RS-232C或RS-422接口的读取器/写入器; 您可以轻松的...
  • R-BLT422R    高压    用于LSI卡的读写器
    它是标准配备的RS-232C或RS-422接口的读取器/写入器; 您可以轻松的与现场端设备进行组装。 (R-BLTMAXR...
    它是标准配备的RS-232C或RS-422接口的读取器/写入器; 您可以轻松的与现场端...
    它是标准配备的RS-232C或RS-422接口的读取器/写入器; 您可以轻松的...
  • 高压 卫星侧位系统  SP-100
    适用于GPS,GLONASS,SBAS,QZSS的卫星的模块; 具有抗多径能力; 快速TTFF
    适用于GPS,GLONASS,SBAS,QZSS的卫星的模块; 具有抗多径能力; ...
    适用于GPS,GLONASS,SBAS,QZSS的卫星的模块; 具有抗多径能力...
  • 高压 瞬间粘合剂
    通用型(金属,橡胶,塑料); 型火焰胶粘剂; 型火焰胶粘剂; 高强度,耐冲击型; 凝胶状型; 木材,...
    通用型(金属,橡胶,塑料); 型火焰胶粘剂; 型火焰胶粘剂; 高强度,耐冲...
    通用型(金属,橡胶,塑料); 型火焰胶粘剂; 型火焰胶粘剂; 高强...
  • 干真空泵LS系列
    高泵速——可在接近大气压的情况下维持高泵速,大大缩短抽送时间; 低功耗——使用ECO-SHOCK技术实现低功耗,极限压力下的...
    高泵速——可在接近大气压的情况下维持高泵速,大大缩短抽送时间; 低功耗——使用ECO-...
    高泵速——可在接近大气压的情况下维持高泵速,大大缩短抽送时间; 低功耗——使用...
  • 干真空泵CR Series Ver.B
    空气冷却,运行成本低; 不需要冷却水和氮气; 该泵具有功耗低、气密性好、重量轻等特点; 可以通过气体镇流器将水蒸...
    空气冷却,运行成本低; 不需要冷却水和氮气; 该泵具有功耗低、气密性好、重量轻等...
    空气冷却,运行成本低; 不需要冷却水和氮气; 该泵具有功耗低、气密性好、...
  • 干真空泵GR系列
    特别适用于高负荷应用,如在常压和真空之间的反复泵送和持续运行在高压范围内; 适用于需要高吞吐量的装卸锁室; 采用通用感...
    特别适用于高负荷应用,如在常压和真空之间的反复泵送和持续运行在高压范围内; 适用于需要...
    特别适用于高负荷应用,如在常压和真空之间的反复泵送和持续运行在高压范围内; 适...
  • 干真空泵LR/HR/UR系列
    低温泵:LR系列泵是为负载锁定或PVD工艺设计的; ULVAC独特的铝设计允许在整个泵体上的温度分布非常均匀:HR曝气泵是为...
    低温泵:LR系列泵是为负载锁定或PVD工艺设计的; ULVAC独特的铝设计允许在整个泵...
    低温泵:LR系列泵是为负载锁定或PVD工艺设计的; ULVAC独特的铝设计允许...
  • 自动泵PST-030CU/AU
    10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶); 通过惰性气体增强泵模型(AU)将泵送性能提高一倍(与ULVAC的常规...
    10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶); 通过惰性气体增强泵模型(AU)...
    10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶); 通过惰性气体增强泵模型...
  • 自动泵PST-050CU/AU
    10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶); 通过惰性气体增强泵模型将泵送性能提高一倍(与ULVAC的常规泵相比)...
    10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶); 通过惰性气体增强泵模型将泵送性...
    10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶); 通过惰性气体增强泵模型...
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