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干真空泵LR/HR/UR系列

低温泵:LR系列泵是为负载锁定或PVD工艺设计的; ULVAC独特的铝设计允许在整个泵体上的温度分布非常均匀:HR曝气泵是为CVD和蚀刻工艺设计的; ULVAC UR系列泵适用于需要加热泵、加热气体管道和/或加热排气管的场合; 优良的氦气抽气能力:罐装电机,安全,维修方便; 电源故障保护:泵能承受高达1000毫秒的电源中断; 优异的耐腐蚀性能:内部部件经过特殊处理,表面硬度高,耐腐蚀性能好。这样可以防止内部泵部件在暴露在腐蚀性气体中时发生磨损和腐蚀; 通讯功能:可输出水泵数据,包括警告和警报。广泛的泵控制是可用的; CE标记可用:CE标记可根据要求提供。


干真空泵LR/HR/UR系列       日本 ULVAC

      ULVAC利用干泵内部产生的热量的独特方法使LR/HR/UR系列即使在最严格的过程中也能发挥作用。ULVAC的设计工作重点是在所有泵的各个阶段保持极高的温度,使这个系列泵最适合CVD和蚀刻应用。


      ULVAC的生态冲击可以被添加到LR泵中,以获得高达70%的能量节省,可用于任何轻工艺包括抽气或氮气。


      【特征】


      低温泵:LR系列泵是为负载锁定或PVD工艺设计的。


      ULVAC独特的铝设计允许在整个泵体上的温度分布非常均匀:HR曝气泵是为CVD和蚀刻工艺设计的。


      ULVAC UR系列泵适用于需要加热泵、加热气体管道和/或加热排气管的场合。


      优良的氦气抽气能力:罐装电机,安全,维修方便。


      电源故障保护:泵能承受高达1000毫秒的电源中断。


      优异的耐腐蚀性能:内部部件经过特殊处理,表面硬度高,耐腐蚀性能好。这样可以防止内部泵部件在暴露在腐蚀性气体中时发生磨损和腐蚀。


      通讯功能:可输出水泵数据,包括警告和警报。广泛的泵控制是可用的。
      CE标记可用:CE标记可根据要求提供。


      【应用】


      泵是专为CVD或干法蚀刻应用而设计的。


      泵是为PVD、蒸发或热处理工艺而设计的。


      缩短LL室排气时间(LR系列)


      泵用于处理产生粉末的过程气体,如Si晶体生长炉等。


      涡轮分子泵和机械助推器泵


      【规格】

 

 


干真空泵LR/HR/UR系列       日本 ULVAC

      ULVAC利用干泵内部产生的热量的独特方法使LR/HR/UR系列即使在最严格的过程中也能发挥作用。ULVAC的设计工作重点是在所有泵的各个阶段保持极高的温度,使这个系列泵最适合CVD和蚀刻应用。


      ULVAC的生态冲击可以被添加到LR泵中,以获得高达70%的能量节省,可用于任何轻工艺包括抽气或氮气。


      【特征】


      低温泵:LR系列泵是为负载锁定或PVD工艺设计的。


      ULVAC独特的铝设计允许在整个泵体上的温度分布非常均匀:HR曝气泵是为CVD和蚀刻工艺设计的。


      ULVAC UR系列泵适用于需要加热泵、加热气体管道和/或加热排气管的场合。


      优良的氦气抽气能力:罐装电机,安全,维修方便。


      电源故障保护:泵能承受高达1000毫秒的电源中断。


      优异的耐腐蚀性能:内部部件经过特殊处理,表面硬度高,耐腐蚀性能好。这样可以防止内部泵部件在暴露在腐蚀性气体中时发生磨损和腐蚀。


      通讯功能:可输出水泵数据,包括警告和警报。广泛的泵控制是可用的。
      CE标记可用:CE标记可根据要求提供。


      【应用】


      泵是专为CVD或干法蚀刻应用而设计的。


      泵是为PVD、蒸发或热处理工艺而设计的。


      缩短LL室排气时间(LR系列)


      泵用于处理产生粉末的过程气体,如Si晶体生长炉等。


      涡轮分子泵和机械助推器泵


      【规格】

 

 

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