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气体分类
Gas
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干真空泵GR系列

特别适用于高负荷应用,如在常压和真空之间的反复泵送和持续运行在高压范围内; 适用于需要高吞吐量的装卸锁室; 采用通用感应电动机,防爆电动机是一种可行的选择; 电机功率:指定订购时所需的电压,可提供交流200 V级或多台电压电动机。


干真空泵GR系列       日本 ULVAC

      基于LR/HR系列多年的设计经验,ULVAC开发了GR系列干式真空泵,为一般工业应用提供简单、清洁的设计。


      【特征】


      特别适用于高负荷应用,如在常压和真空之间的反复泵送和持续运行在高压范围内。


      适用于需要高吞吐量的装卸锁室。


      采用通用感应电动机,防爆电动机是一种可行的选择。


      电机功率:指定订购时所需的电压,可提供交流200 V级或多台电压电动机。


      【应用领域】


      空气、惰性气体等清洁气体真空抽吸。


      各种沉积设备的装卸锁室。


      一般工业用途有真空干燥机、真空气体交换、真空隔热、充气、真空除气等。


      【规格】


型号

GR60A

GR90A

GR180A

HZ

50

60

50

60

50

60

最大抽运速度

m3/h

62

80

112

126

183

237

L/min

1030

1333

1860

2100

3100

3950

cfm

36.4

47.1

65.7

74.2

109.5

139.5

极限压力

5.0Pa*1

3.7   x 10-2Torr*1

5.0   x 10-2mbar*1

最大入口压力

大气压力

最大排气压力

1.0Pa至大气压

7.5   x 10-3Pa到大气压

1.0   x 10-2毫巴到大气压

进气口

VG   50ISO63F

VG   80ISO80F


排气口

NW   40

表面处理

标准选项

重量

128kg

188kg

268kg

冷却水

供应压力

0.1   to 0.3MPa

14.5   to 43.5psi

/出差压

>0.1MPa

>14.5psi

温度

1030 *2

5086

流量

>5.0L/m

氮气

一次侧供给压力

0.1   to 0.5MPa

14.5   to 72.5psi

二次侧调节压力*3

0.050.1(工作时)

7.3   to 14.5psi

5SLM *4

 

*1 极限压力是氮气(轴封气体)5.0SLM时的值

*2非凝结。

*3压力表上显示的数值由气体调节器调整。

*4氮气流量(轴封气体)固定在5.0SLM

订购时,请从下表中指定电机电压。200伏特级电动机或多伏电动机



干真空泵GR系列       日本 ULVAC

      基于LR/HR系列多年的设计经验,ULVAC开发了GR系列干式真空泵,为一般工业应用提供简单、清洁的设计。


      【特征】


      特别适用于高负荷应用,如在常压和真空之间的反复泵送和持续运行在高压范围内。


      适用于需要高吞吐量的装卸锁室。


      采用通用感应电动机,防爆电动机是一种可行的选择。


      电机功率:指定订购时所需的电压,可提供交流200 V级或多台电压电动机。


      【应用领域】


      空气、惰性气体等清洁气体真空抽吸。


      各种沉积设备的装卸锁室。


      一般工业用途有真空干燥机、真空气体交换、真空隔热、充气、真空除气等。


      【规格】


型号

GR60A

GR90A

GR180A

HZ

50

60

50

60

50

60

最大抽运速度

m3/h

62

80

112

126

183

237

L/min

1030

1333

1860

2100

3100

3950

cfm

36.4

47.1

65.7

74.2

109.5

139.5

极限压力

5.0Pa*1

3.7   x 10-2Torr*1

5.0   x 10-2mbar*1

最大入口压力

大气压力

最大排气压力

1.0Pa至大气压

7.5   x 10-3Pa到大气压

1.0   x 10-2毫巴到大气压

进气口

VG   50ISO63F

VG   80ISO80F


排气口

NW   40

表面处理

标准选项

重量

128kg

188kg

268kg

冷却水

供应压力

0.1   to 0.3MPa

14.5   to 43.5psi

/出差压

>0.1MPa

>14.5psi

温度

1030 *2

5086

流量

>5.0L/m

氮气

一次侧供给压力

0.1   to 0.5MPa

14.5   to 72.5psi

二次侧调节压力*3

0.050.1(工作时)

7.3   to 14.5psi

5SLM *4

 

*1 极限压力是氮气(轴封气体)5.0SLM时的值

*2非凝结。

*3压力表上显示的数值由气体调节器调整。

*4氮气流量(轴封气体)固定在5.0SLM

订购时,请从下表中指定电机电压。200伏特级电动机或多伏电动机


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