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气体分类
Gas
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干真空泵LS系列

高泵速——可在接近大气压的情况下维持高泵速,大大缩短抽送时间; 低功耗——使用ECO-SHOCK技术实现低功耗,极限压力下的耗电量是业界领先的0.6kW或更少(LS120A-C); 低噪声——内置消音器可降噪达61 dB(A)或更低的噪声水平; 低运行成本。


干真空泵LS系列      日本 ULVAC

      干真空泵LS系列是一系高泵速、低功耗的真空泵。可根据应用情况选择泵速最优的型号。


      【特征】


      高泵速——可在接近大气压的情况下维持高泵速,大大缩短抽送时间。


      低功耗——使用ECO-SHOCK技术实现低功耗,极限压力下的耗电量是业界领先的0.6kW或更少(LS120A-C)


      低噪声——内置消音器可降噪达61 dB(A)或更低的噪声水平。


      低运行成本


      无轴密封气体※净化气体可用L型


      四种型号


      泵速120~1200 m~3/h级※有机械增压泵的情况下


      可根据应用情况选择泵速最优的型号


      【应用】


      2种特定应用类型


      C型:清洁工艺(LS*A-C)


      特点:低功耗模式(内置ECO-SHOCK)。


      用途:用于空气和氮气等清洁处理。


      溅射/气相沉积/分层/负载锁室/TMP支持泵等。


      L型:光处理(LS*A-L)


      特点:轻量化工艺模型(具有表面处理和净化功能)。


      用途:适用于蒸汽、挥发性液体等轻工加工,真空干燥/冷冻干燥/灰/一般工业用途等。


      【规格】

 


Model

C

L

LS120A

LS300A

LS600A

LS1200A

C

L

C

L

C

L

C

L

最大泵速

m3/h

120

380

600

1000

极限压力

Pa

<=0.6

<=0.1

电源

200V   Class:3Phase,50/60Hz,AC200-240V or 400V Class:3Phase,50/60Hz,AC380V-480V

功耗*1

kw

0.6

2.0

1.0

2.5

1.3

2.6

1.3

2.7

冷却水流速

L/min

>2.0

>4.0

净化气体流速*2

SLM

--

0~50

--

0~50

--

0~50

--

0~50

最大水汽容量*3

kg/h

--

1.5

--

1.5

--

1.5

--

1.5

噪声

DB(A)

61

61

62

64

进气口

KF50/VG50

ISO-F-80

ISO-F-80

ISO-F-80

出气口

KF40

尺寸

mm

311x639x307

311x639x537

311x639x563

311x639x563

质量

kg

142

220

242

266

适用标准

CEcTUVus

标准附件

说明手册(CD-R)、电源接头、防水电缆夹、远程连接器、

电源连接器保护

泵头选项

电源:200Vor 400V级,密封材料:FFKM(仅供L型)

外部选择

MBP入口法兰适配器、分组排气口、防震支架、lr兼容单位(入口、远程)、排气阀





 


干真空泵LS系列      日本 ULVAC

      干真空泵LS系列是一系高泵速、低功耗的真空泵。可根据应用情况选择泵速最优的型号。


      【特征】


      高泵速——可在接近大气压的情况下维持高泵速,大大缩短抽送时间。


      低功耗——使用ECO-SHOCK技术实现低功耗,极限压力下的耗电量是业界领先的0.6kW或更少(LS120A-C)


      低噪声——内置消音器可降噪达61 dB(A)或更低的噪声水平。


      低运行成本


      无轴密封气体※净化气体可用L型


      四种型号


      泵速120~1200 m~3/h级※有机械增压泵的情况下


      可根据应用情况选择泵速最优的型号


      【应用】


      2种特定应用类型


      C型:清洁工艺(LS*A-C)


      特点:低功耗模式(内置ECO-SHOCK)。


      用途:用于空气和氮气等清洁处理。


      溅射/气相沉积/分层/负载锁室/TMP支持泵等。


      L型:光处理(LS*A-L)


      特点:轻量化工艺模型(具有表面处理和净化功能)。


      用途:适用于蒸汽、挥发性液体等轻工加工,真空干燥/冷冻干燥/灰/一般工业用途等。


      【规格】

 


Model

C

L

LS120A

LS300A

LS600A

LS1200A

C

L

C

L

C

L

C

L

最大泵速

m3/h

120

380

600

1000

极限压力

Pa

<=0.6

<=0.1

电源

200V   Class:3Phase,50/60Hz,AC200-240V or 400V Class:3Phase,50/60Hz,AC380V-480V

功耗*1

kw

0.6

2.0

1.0

2.5

1.3

2.6

1.3

2.7

冷却水流速

L/min

>2.0

>4.0

净化气体流速*2

SLM

--

0~50

--

0~50

--

0~50

--

0~50

最大水汽容量*3

kg/h

--

1.5

--

1.5

--

1.5

--

1.5

噪声

DB(A)

61

61

62

64

进气口

KF50/VG50

ISO-F-80

ISO-F-80

ISO-F-80

出气口

KF40

尺寸

mm

311x639x307

311x639x537

311x639x563

311x639x563

质量

kg

142

220

242

266

适用标准

CEcTUVus

标准附件

说明手册(CD-R)、电源接头、防水电缆夹、远程连接器、

电源连接器保护

泵头选项

电源:200Vor 400V级,密封材料:FFKM(仅供L型)

外部选择

MBP入口法兰适配器、分组排气口、防震支架、lr兼容单位(入口、远程)、排气阀





 

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