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用于SiC 的高温离子注入机IH-860DSIC

描述:用于碳化硅高温ESC批量生产的离子注入机。特性:持续高温植入,高达700keV,通过软件链式植入,占地面积小,覆盖研发到批量生产各个领域,应用: SiC器件


用于SiC 的高温离子注入机IH-860DSIC

       描述:


       用于碳化硅高温ESC批量生产的离子注入机。


       特性:


       持续高温植入


       高达700keV


       通过软件链式植入


       占地面积小


       覆盖研发到批量生产各个领域


       应用:


       SiC器件

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